고해상도와 고속을 달성하기 위한 모션 제어용 레이저스케일입니다.

스테이지의 고속제어 및 피코미터 수준의 미세제어를 위한 스케일로서 뿐만 아니라

틸트 테이블의 고해상도 틸트 제어를 위한 센서로도 활용이 가능합니다.

· 최대 해상도 : 6.1pm 최대 응답 속도 : 5m/s

· ±30분의 넓은 각도 허용 오차

· 수명이 긴 레이저 다이오드 장착

· BD700과 결함하여 뛰어난 보간 정확도

· 1.5D 및 2D 스케일도 사용 가능

1D 스케일 단위
모델	BL50H-SZ***********	BL50H-SA***********
스케일 재료	ZERO 유리 0.1 x 10 -6 /°C	무알칼리 유리 3.7 x 10 -6 /°C
측정 길이	30~1,070mm
격자 피치	1.6μm
기준점 위치	사용자 정의 가능(측정 길이 범위 내) 또는 없음
정확도 (20°C에서)	±0.5μm/30~120mm, ±1μm/170~270mm, ±3μm/320~670mm(특수 사양 시 ±1.5μm), ±5μm/770~970mm(특수 사양 시 ±3μm) ), ±5 µm / 1070 mm, ±0.2 µm / 1070 mm 이하 (BD700 보정 포함)
보간 정확도	±50pm(보간기 BD700 사용)
Magnescale은 사전 통지 없이 제품 사양을 변경할 권리를 보유합니다.

1.5D/2D 스케일 유닛
	1.5D		2D
제로 글라스	엑스	30~770mm	X와 Y 모두 50mm 증분으로 300mm x 300mm
	와이	표준 1mm(~2mm)(※)
무알칼리 유리	엑스	30~770mm	X와 Y 모두 50mm 증분으로 300mm x 300mm
	와이	표준 1mm(~2mm)(※)
300mm x 300mm보다 큰 2D 스케일도 특별 주문으로 제공됩니다. 당사 영업부로 문의해 주십시오. (※) : (2mm까지)는 특별사양입니다. Magnescale은 사전 통지 없이 제품 사양을 변경할 권리를 보유합니다.

헤드유닛
모델	BL50H-FS***D	BL50H-FS******H
출력 신호	인터폴레이터 BD700 연결(*)	아날로그 1Vp-p
신호 피치	400nm
최대 해상도	오후 6시 1분
최대 응답 속도	3m/s(특수 처리 시 5m/s)	5m/초
정리	ZERO 유리 : 3.4 ±0.2 mm, 무알칼리 유리 : 3.8 ±0.2 mm
각도 공차	요(Yaw): ±8.7 mrad, 피치(Pitch): ±8.7 mrad, 롤링(Rolling): ±8.7 mrad
헤드 케이블 길이	1m, 3m, 6m	0.5m, 1m, 3m
작동 온도	+10 ~ +40 °C(응결 없음)
(*) : BD700 인터폴레이터에 의해 A/B 위상, 다양한 업체의 시리얼 인터페이스, 아날로그 출력으로 변환됨
Laserscale은 반도체 레이저를 사용합니다. 레이저 광선은 인체에 유해하므로 감지 헤드 부분을 들여다보지 마십시오. Magnescale은 사전 통지 없이 제품 사양을 변경할 권리를 보유합니다.