BS78
MAGNESCALE
,
계측센서
,
레이저리니어센서


측정길이:40~420mm, 9종(-R/-RS)
측정길이:10~420mm, 10종(-N/-NS)
신호피치:0.138㎛(138nm)
측정길이:10~420mm, 10종(-N/-NS)
신호피치:0.138㎛(138nm)
카탈로그 메뉴얼 도면
Product Details
안정적인 초정밀 측정을 유지하면서 고속, 고해상도를 구현합니다.
정밀 스테이지, 반도체 검사/제조 시스템, 초정밀 가공 기계에 적합합니다.
- 약 신호 피치의 고해상도 스케일. 138nm, 광파 간섭계 시스템보다 성능이 뛰어남
- 습도, 기압 및 공기 교란에 영향을 받지 않는 높은 안정성
- 기준점 정확도: ±0.1 µm
- 스케일 정확도: ±0.04 µm (측정 길이: 40 mm)
- 비접촉 설계로 반품 오류가 발생하지 않습니다.
- 측정 길이 : 40~420mm, 9종(-R/-RS)
- 측정 길이 : 10~420mm, 10종(-N/-NS)
- 특수 비자성 및 진공 호환 모델 이용 가능
- 저팽창 유리 사용 : -0.7 x10 -6 °C (측정 길이 : 10 ~ 420 mm)
사양 | ||
측정 길이 | 10(N/NS만) / 40 / 70 / 120 / 170 / 220 / 270 / 320 / 370 / 420 | |
전체 길이 | 58 mm (L = 10 mm : 개방형 스케일), L +26 mm (L = 40 mm ~ 420 mm) L : 측정 길이 |
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최대 길이 | L + 2 mm (L = 10 mm: 개방형 스케일), L +10 mm (L = 40 mm ~ 420 mm) L: 측정 길이 |
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스케일 정확도(20°C에서) |
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격자 피치 | 대략. 0.55μm | |
신호 피치 | 대략. 0.138μm(약 138nm) | |
기준점 정확도 | ±0.1 µm (R/RS 타입만 해당) | |
기준점 위치 | 중앙, 중앙에서 왼쪽, 오른쪽으로 50mm마다(측정 길이가 320, 370, 420mm인 BS78 모델: 중앙에서 50mm 간격으로 20mm 오프셋) |
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기준점 감지 방향 | 단일 방향 | |
열팽창계수 | -0.7×10 -6 /℃ | |
광원 | 반도체 레이저 : 파장 790 nm, 출력 6 mW | |
방사선 전력 | DHHS 클래스 1 | |
감지 원리 | 회절 격자 스캐닝 시스템 | |
작동 온도 | +10 ~ +30 °C(응결 없음) | |
보관온도 | -10~50°C(습도 60% 이하) | |
최대. 응답 속도 | 400mm/초 | |
Laserscale은 반도체 레이저를 사용합니다. 레이저 광선은 인체에 유해하므로 감지 헤드 부분을 들여다보지 마십시오. |

2020-01-01 00:00:01
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