Brand

브랜드소개

BL50H

MAGNESCALE , 계측센서 , 레이저리니어센서
측정길이:30~1,070mm
신호피치: 400nm
카탈로그 메뉴얼 도면
Product Details

고해상도와 고속을 달성하기 위한 모션 제어용 레이저스케일입니다.

스테이지의 고속제어 및 피코미터 수준의 미세제어를 위한 스케일로서 뿐만 아니라

틸트 테이블의 고해상도 틸트 제어를 위한 센서로도 활용이 가능합니다.

· 최대 해상도 : 6.1pm 최대 응답 속도 : 5m/s

· ±30분의 넓은 각도 허용 오차

· 수명이 긴 레이저 다이오드 장착

· BD700과 결함하여 뛰어난 보간 정확도

· 1.5D 및 2D 스케일도 사용 가능

1D 스케일 단위

모델 BL50H-SZ*********** BL50H-SA***********
스케일 재료 ZERO 유리 0.1 x 10 -6 /°C 무알칼리 유리 3.7 x 10 -6 /°C
측정 길이 30~1,070mm
격자 피치 1.6μm
기준점 위치 사용자 정의 가능(측정 길이 범위 내) 또는 없음
정확도
(20°C에서)
±0.5μm/30~120mm, ±1μm/170~270mm,
±3μm/320~670mm(특수 사양 시 ±1.5μm),
±5μm/770~970mm(특수 사양 시 ±3μm) ), ±5 µm / 1070 mm,
±0.2 µm / 1070 mm 이하 (BD700 보정 포함)
보간 정확도 ±50pm(보간기 BD700 사용)
Magnescale은 사전 통지 없이 제품 사양을 변경할 권리를 보유합니다.

1.5D/2D 스케일 유닛

1.5D 2D
제로 글라스 엑스 30~770mm X와 Y 모두 50mm 증분으로 300mm x 300mm
와이 표준 1mm(~2mm)(※)
무알칼리 유리 엑스 30~770mm X와 Y 모두 50mm 증분으로 300mm x 300mm
와이 표준 1mm(~2mm)(※)
300mm x 300mm보다 큰 2D 스케일도 특별 주문으로 제공됩니다. 당사 영업부로 문의해 주십시오.

(※) : (2mm까지)는 특별사양입니다.

Magnescale은 사전 통지 없이 제품 사양을 변경할 권리를 보유합니다.

헤드유닛

모델 BL50H-FS***D BL50H-FS******H
출력 신호 인터폴레이터 BD700 연결(*) 아날로그 1Vp-p
신호 피치 400nm
최대 해상도 오후 6시 1분
최대 응답 속도 3m/s(특수 처리 시 5m/s) 5m/초
정리 ZERO 유리 : 3.4 ±0.2 mm, 무알칼리 유리 : 3.8 ±0.2 mm
각도 공차 요(Yaw): ±8.7 mrad, 피치(Pitch): ±8.7 mrad, 롤링(Rolling): ±8.7 mrad
헤드 케이블 길이 1m, 3m, 6m 0.5m, 1m, 3m
작동 온도 +10 ~ +40 °C(응결 없음)
(*) : BD700 인터폴레이터에 의해 A/B 위상, 다양한 업체의 시리얼 인터페이스, 아날로그 출력으로 변환됨
Laserscale은 반도체 레이저를 사용합니다. 레이저 광선은 인체에 유해하므로 감지 헤드 부분을 들여다보지 마십시오.

Magnescale은 사전 통지 없이 제품 사양을 변경할 권리를 보유합니다.

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2020-01-01 00:00:01 조회 1165
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