BL50H
MAGNESCALE
,
계측센서
,
레이저리니어센서


측정길이:30~1,070mm
신호피치: 400nm
신호피치: 400nm
카탈로그 메뉴얼 도면
Product Details
고해상도와 고속을 달성하기 위한 모션 제어용 레이저스케일입니다.
스테이지의 고속제어 및 피코미터 수준의 미세제어를 위한 스케일로서 뿐만 아니라
틸트 테이블의 고해상도 틸트 제어를 위한 센서로도 활용이 가능합니다.
· 최대 해상도 : 6.1pm 최대 응답 속도 : 5m/s· ±30분의 넓은 각도 허용 오차
· 수명이 긴 레이저 다이오드 장착
· BD700과 결함하여 뛰어난 보간 정확도
· 1.5D 및 2D 스케일도 사용 가능
1D 스케일 단위 |
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모델 | BL50H-SZ*********** | BL50H-SA*********** |
스케일 재료 | ZERO 유리 0.1 x 10 -6 /°C | 무알칼리 유리 3.7 x 10 -6 /°C |
측정 길이 | 30~1,070mm | |
격자 피치 | 1.6μm | |
기준점 위치 | 사용자 정의 가능(측정 길이 범위 내) 또는 없음 | |
정확도 (20°C에서) |
±0.5μm/30~120mm, ±1μm/170~270mm, ±3μm/320~670mm(특수 사양 시 ±1.5μm), ±5μm/770~970mm(특수 사양 시 ±3μm) ), ±5 µm / 1070 mm, ±0.2 µm / 1070 mm 이하 (BD700 보정 포함) |
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보간 정확도 | ±50pm(보간기 BD700 사용) | |
Magnescale은 사전 통지 없이 제품 사양을 변경할 권리를 보유합니다. |
1.5D/2D 스케일 유닛 |
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1.5D | 2D | ||
제로 글라스 | 엑스 | 30~770mm | X와 Y 모두 50mm 증분으로 300mm x 300mm |
와이 | 표준 1mm(~2mm)(※) | ||
무알칼리 유리 | 엑스 | 30~770mm | X와 Y 모두 50mm 증분으로 300mm x 300mm |
와이 | 표준 1mm(~2mm)(※) | ||
300mm x 300mm보다 큰 2D 스케일도 특별 주문으로 제공됩니다. 당사 영업부로 문의해 주십시오. (※) : (2mm까지)는 특별사양입니다. Magnescale은 사전 통지 없이 제품 사양을 변경할 권리를 보유합니다. |
헤드유닛 |
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모델 | BL50H-FS***D | BL50H-FS******H |
출력 신호 | 인터폴레이터 BD700 연결(*) | 아날로그 1Vp-p |
신호 피치 | 400nm | |
최대 해상도 | 오후 6시 1분 | |
최대 응답 속도 | 3m/s(특수 처리 시 5m/s) | 5m/초 |
정리 | ZERO 유리 : 3.4 ±0.2 mm, 무알칼리 유리 : 3.8 ±0.2 mm | |
각도 공차 | 요(Yaw): ±8.7 mrad, 피치(Pitch): ±8.7 mrad, 롤링(Rolling): ±8.7 mrad | |
헤드 케이블 길이 | 1m, 3m, 6m | 0.5m, 1m, 3m |
작동 온도 | +10 ~ +40 °C(응결 없음) | |
(*) : BD700 인터폴레이터에 의해 A/B 위상, 다양한 업체의 시리얼 인터페이스, 아날로그 출력으로 변환됨 | ||
Laserscale은 반도체 레이저를 사용합니다. 레이저 광선은 인체에 유해하므로 감지 헤드 부분을 들여다보지 마십시오. Magnescale은 사전 통지 없이 제품 사양을 변경할 권리를 보유합니다. |

2020-01-01 00:00:01
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