HOME 〉 제품소개

BS78

측정길이:40~420mm, 9종(-R/-RS)

측정길이:10~420mm, 10종(-N/-NS)

신호피치:0.138㎛(138nm)
다운로드 :

안정적인 초정밀 측정을 유지하면서 고속, 고해상도를 구현합니다. 


정밀 스테이지, 반도체 검사/제조 시스템, 초정밀 가공 기계에 적합합니다.



  • 약 신호 피치의 고해상도 스케일. 138nm, 광파 간섭계 시스템보다 성능이 뛰어남

  • 습도, 기압 및 공기 교란에 영향을 받지 않는 높은 안정성

  • 기준점 정확도: ±0.1 µm

  • 스케일 정확도: ±0.04 µm (측정 길이: 40 mm)

  • 비접촉 설계로 반품 오류가 발생하지 않습니다.

  • 측정 길이 : 40~420mm, 9종(-R/-RS)

  • 측정 길이 : 10~420mm, 10종(-N/-NS)

  • 특수 비자성 및 진공 호환 모델 이용 가능

  • 저팽창 유리 사용 : -0.7 x10 -6 °C (측정 길이 : 10 ~ 420 mm)




사양
측정 길이 10(N/NS만) / 40 / 70 / 120 / 170 / 220 / 270 / 320 / 370 / 420
전체 길이 58 mm (L = 10 mm : 개방형 스케일), L +26 mm (L = 40 mm ~ 420 mm)
L : 측정 길이
최대 길이 L + 2 mm (L = 10 mm: 개방형 스케일), L +10 mm (L = 40 mm ~ 420 mm)
L: 측정 길이
스케일 정확도(20°C에서)

  • NS 유형, RS 유형:

  • ±0.03 µm (L = 10 mm: NS 유형)

  • ±0.04μm(L = 40mm)

  • ±0.10μm(L = 70/120mm)

  • ±0.18μm(L = 170/220mm)

  • ±0.25μm(L = 270mm)

  • ±0.34μm(L = 320mm)

  • ±0.39μm(L = 370mm)

  • ±0.44μm(L = 420mm)

  • L : 측정 길이

  • N 유형, R 유형:

  • ±0.06 µm (L = 10 mm : N 유형)

  • ±0.08μm(L = 40mm)

  • ±0.20μm(L = 70/120mm)

  • ±0.35μm(L = 170/220mm)

  • ±0.50 µm (L = 270 / 370 mm)

  • ±0.65μm(L = 420mm)

  • L : 측정 길이
격자 피치 대략. 0.55μm
신호 피치 대략. 0.138μm(약 138nm)
기준점 정확도 ±0.1 µm (R/RS 타입만 해당)
기준점 위치 중앙, 중앙에서 왼쪽,
오른쪽으로 50mm마다(측정 길이가 320, 370, 420mm인 BS78 모델:
중앙에서 50mm 간격으로 20mm 오프셋)
기준점 감지 방향 단일 방향
열팽창계수 -0.7×10 -6 /℃
광원 반도체 레이저 : 파장 790 nm, 출력 6 mW
방사선 전력 DHHS 클래스 1
감지 원리 회절 격자 스캐닝 시스템
작동 온도 +10 ~ +30 °C(응결 없음)
보관온도 -10~50°C(습도 60% 이하)
최대. 응답 속도 400mm/초
Laserscale은 반도체 레이저를 사용합니다.

레이저 광선은 인체에 유해하므로 감지 헤드 부분을 들여다보지 마십시오.


 

 
목록보기 이전글 다음글
Powered by KBoard