신호 피치가 250 nm인 고정밀 반사 레이저스케일입니다. 

로우 프로파일 스테이지, 반도체 백엔드 처리 장비 및 정밀 현미경에 이상적

• 신호 피치: 250nm


• 높은 정확도: ±1 µm / 420 mm


• 높은 응답 속도: 1,800mm/s


• 최대 해상도 : 오후 3시 8분


• 사용 가능: 기준점 유무


• 완전 비접촉 설계 : 이론적으로 복귀오차가 없습니다.


• 스케일 : ZERO 유리 / 무알칼리 유리


• 두께 12mm의 얇은 헤드


• 다양한 해상도 및 출력 모드 지원 (BD96, BD700 등 인터폴레이터에 따라 다름)


• 특수 진공 호환 모델 사용 가능
  
  
  

  사양
  모델	BH25-RED	BH25-NED
  측정 길이	30 / 70 / 120 / 170 / 220 / 270 / 320 / 370 / 420 mm (ZERO 유리 / 무알칼리 유리)
  전체 길이	측정 길이 +26mm
  최대 길이	측정 길이 +10mm
  스케일 정확도(20°C에서)	±0.5μm(30~170mm) ±1.0μm(220~420mm)
  격자 피치	1.0μm
  신호 피치	0.25μm(250nm)
  기준점	기준점 포함	없음
  기준점 감지 방향	단일 방향	없음
  열팽창계수	0.1×10 -6 /°C (ZERO 유리) 3.7 x 10 -6 /°C (무알칼리 유리)
  광원	반도체 레이저 : 파장 790 nm, 출력 6 mW
  감지 원리	회절 격자 스캐닝 시스템
  작동 온도	+10 ~ +30 °C(응결 없음)
  보관온도	10 ~ +50 °C (습도 60% 미만)
  최대. 응답 속도	1,800mm/초
  출력 신호	인터폴레이터 연결 등
  출력 해상도	보간 분할 수에 따라 다름
  Laserscale은 반도체 레이저를 사용합니다. 레이저 광선은 인체에 유해하므로 감지 헤드 부분을 들여다보지 마십시오.