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측정 범위 : 60 mm / 100 mm
시스템 정확도 : ± 0.5 / ± 1 µm µm
응답 속도 : ≤ 18 m/min / ≤ 60 m/min
DISPLAY : ND 280 SERIES
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측정 범위 : 25mm / 60mm
시스템 정확도 : ± 0.03 µm ~± 0.1 µm
응답 속도 : ≤ 12 m/min / ≤ 24 m/min
DISPLAY : ND 280 SERIES